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前言:湿洗清洗和等离子干洗清洗的区别是哪些?湿法清洗在现阶段的微电子清洗工艺中还占据主导地位。但是从对环境的影响、原材料的消耗及未来发展上看,干法...
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前言:半导体表面材料清洗为什么先用一号液半导体材料表面的污染物主要有二类:有机污染物和金属离子污染。一号液主要是清除有机污染物如油脂等的,二号液则...